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依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸是0.5um，無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。
據查詢無塵室等級標準的版本較多，于是小編就整理兩個較常用的劃分標準，分別是國際標準 IOS14644-1、中國標準 GB/T16292-1996，具體詳情請看下表：
空氣潔凈度分級標準：IOS14644-1（國際標準）
空氣潔凈度等級（N） | 大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子） | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | |
ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
ISO Class 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
ISO Class 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
ISO Class 7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
ISO Class 8 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
ISO Class 9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | |||
注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平 | ||||||
空氣潔凈度分級標準：GB/T16292-1996（中國標準）
粒徑、數值潔凈度級別 | 塵埃最大允許數/立方米 | 微生物最大允許數 | ||
≥0.5um | ≥5um | 浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 | |
100級 | 3500 | 0 | 5 | 1 |
10000級 | 350000 | 2000 | 100 | 3 |
100000級 | 3500000 | 20000 | 500 | 10 |
300000級 | 10500000 | 60000 | - | 15 |
亂流式(Turbulent Flow)：
空氣由空調箱經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室，并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于無塵室等級為1,000-100,000級的。
優點：構造簡單、系統建造成本低，無塵室擴充比較容易，在某些特殊用途場所可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達要求的潔凈度，需耗時相當長一段時間。
層流式(Laminar)：
層流式空氣氣流運動成均勻的直線形，空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需求較高的環境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。
其型式可分為二種：
?無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般下流側污染較嚴重。
優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變穩定。
缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
?無塵車間垂直層流式：房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度，在生產中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝獠⒉粫绊懫渌ぷ鲄^域。
優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易受作業狀態或作業人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板的吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
復合式(Mixed Type)：
復合式是將亂流式及層流式予以復合并用，可提供局部超潔凈空氣。
無塵車間潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將生產區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員的工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，超大規模集成電路生產大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優點：彈性擴充容易、維修設備時可在維修區輕易執行。
無塵車間潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量的送風即可得到良好的潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線最適宜使用。藥品、食品及半導體均適用。
無塵車間并裝局部無塵室(Clean Spot)：將亂流無塵室內的產品生產區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，為生產用。
遮蔽率
無塵等級 | Air Change（次/hr） | HEPA遮蔽率 |
Class 100 | 240-480 | 50%-100% |
Class 1000 | 17-240 | 10%-35% |
Class 10000 | 10 | 8%-10% |
Air Change：FFU的表面積*風速*FFU數量/無塵室體積
HEPA遮蔽率：FFU的表面積*FFU數量/無塵室面積
風速、溫濕度
氣流速度為：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）
一般溫度控制范圍：T=（21±2）℃
一般濕度控制范圍：（45±5）%RH
壓差
在兩個無塵室間合理的設計壓力差應為10Pa，而在無塵室和未確認潔凈等級的區域應保持有15Pa的壓力差。當產生這些壓力差有實際困難時，維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。
構成要求
A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕
B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子
C.吸濕性小
D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高
文字內容來源于：模切易得通
